本课程授课目的是使学生掌握微电子制造的各单项工艺技术，以及亚微米CMOS集成电路的工艺集成技术。本课程讲授微电子制造工艺各单项工艺的基本原理，包括氧化、扩散、离子注入、薄膜淀积、光刻、刻蚀、金属化工艺等，并介绍常用的工艺检测方法、集成电路工艺集成技术和工艺技术的发展趋势等问题。
